微纳加工技术  051M5050H

学期:2017—2018学年(春)第二学期 | 课程属性:专业普及课 | 任课教师:周玉琴
授课时间: 星期一, 第3、4节
授课地点: 教1-214
授课周次: 4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15
授课时间: 星期三, 第3、4节
授课地点: 教1-214
授课周次: 4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15
课程编号: 051M5050H 课时: 40 学分: 2.0
课程属性: 专业普及课 主讲教师:周玉琴
英文名称: Micro/nano process technology

教学目的、要求

本课程为物理、化学、电子、材料等专业硕士生和博士生的普及课,目的是使学生掌握各种微纳加工的基本原理,为未来研究打下很好的器件制备基础。本课程综合介绍微纳米加工技术的基础,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,分析各种技术的优缺点,列举大量图表与实例来帮助学生们学习和理解。通过本课程的学习,学生不仅可以掌握纳米器件制造的基本工艺和原理,同时也可以了解到当前工业界以及研究领域最新的工艺趋势。

预修课程

教 材

主要内容

第1章 微纳米加工技术简介
第2章 光学曝光技术
第3章 电子束曝光技术
第4章 聚焦离子束加工技术
第5章 扫描探针加工技术
第6章 复制技术
第7章 沉积法图形转移技术
第8章 刻蚀法图形转移技术
第9章 间接纳米加工技术
第10章 自组装纳米加工技术
第11章 微纳米加工技术的应用

参考文献