化合物半导体材料生长与表征  051M5102H

学期:2017—2018学年(春)第二学期 | 课程属性:专业普及课 | 任课教师:杨涛,杨晓光
授课时间: 星期三, 第1、2节
授课地点: 教1-417
授课周次: 2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13
授课时间: 星期一, 第1、2节
授课地点: 教1-417
授课周次: 2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13
课程编号: 051M5102H 课时: 40 学分: 2.0
课程属性: 专业普及课 主讲教师:杨涛,杨晓光
英文名称: Growth and characterization of compound semiconductor materials

教学目的、要求

课程为材料学院各专业硕士生和博士生的普及课,主要授课对象是材料物理与化学、微电子与固体物理学等专业及材料相关专业的学生。本课程面向化合物半导体材料和器件的实验室研究和工业应用,以化合物半导体材料生长表征为主题,结合具体案例介绍应用于国内外学术机构以及英特尔、华为、三安光电等企业的主流材料生长和表征技术。通过本课程的讲授,培养学生驾驭设备、分析问题和解决问题的能力,为今后在实验室和企业的工作开展做好准备。内容包括半导体材料的分子束外延、金属有机物化学气相沉积、化合物半导体的表征技术等。

预修课程

教 材

主要内容

第一章 化合物半导体材料综述,4学时;
第二章 化合物半导体材料制备,12学时:分子束外延,4学时;金属有机物化学气相沉积,6学时;液相外延、固相外延等,2学时;
第三章 各族化合物半导体材料制备,8学时:氮系化合物半导体材料生长,2学时;磷系化合物半导体材料生长,2学时;砷系化合物半导体材料生长,2学时;锑、铋系化合物半导体材料生长,2学时;
第四章 化合物半导体材料的表征与器件工艺,8学时:化合物半导体材料形貌、结构表征,2学时;化合物半导体材料组分、掺杂表征,2学时;化合物半导体材料光电性能表征,2学时;化合物半导体器件工艺,2学时;
第五章 应用实例与专题讨论,8学时

参考文献