硅微机械传感器  200300M05002H

学期:2020—2021学年(春)第二学期 | 课程属性:专业普及课 | 任课教师:陈德勇,裴为华
授课时间: 星期二,第1、2 节
授课地点: 教一楼317
授课周次: 2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16
课程编号: 200300M05002H 课时: 30 学分: 2.00
课程属性: 专业普及课 主讲教师:陈德勇,裴为华 助教:
英文名称: Silicon micromechanical sensor 召集人:

教学目的、要求

本课程为信息电子科学技术学科研究生的专业普及课,介绍基于MEMS技术的硅微机械传感器的基础理论、敏感机制、设计制造方法,并通过对典型微机械传感器比如力、压力、流体、惯性等力学量传感器进行研讨以加深对硅微机械传感器的理解,为后续从事硅微机械传感器的研究工作奠定基础。

预修课程

大学物理

教 材

1、Stephen Beeby et al, MEMS Mechanical Sensors, Artech House, Inc. 2004.

2、M.Elwenspoek and R.Wiegerink, Mechanical Microsensors, Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2001.

主要内容

第一章,硅微机械加工概述 2学时
第二章,硅微机械加工技术 8学时
第三章 硅微机械传感器的基础理论 2学时;
第四章 硅微机械传感技术 2学时;
第五章 硅微机械传感器设计、制造及封装 4学时;
第六章 微机械谐振传感器 4学时;
第七章 力和压力传感器 4学时;
第八章 微机械加速度和角速度以及流体传感器 4学时

参考文献