真空物理与技术  0805J1M05005H

学期:2020—2021学年(春)第二学期 | 课程属性:专业普及课 | 任课教师:刘丰珍,曾湘波
授课时间: 星期二,第9、10、11 节
授课地点: 教一楼227
授课周次: 3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16
课程编号: 0805J1M05005H 课时: 40 学分: 2.00
课程属性: 专业普及课 主讲教师:刘丰珍,曾湘波 助教:
英文名称: Vacuum Physics and Technology 召集人:

教学目的、要求

本课程为一级学科材料科学与工程(0805)、电子科学与技术(0809)以及物理学(0702 )相关专业研究生、本科生的学科普及课。授课对象为对真空物理与技术有兴趣的研究生、本科生。通过此课程在大学物理的基础上进一步专门学习与真空相关的物理和技术知识。这门课程所涉及的知识广泛应用于科学研究和工业生产中,通过学习要掌握真空物理与技术的基本知识和常见的真空系统所涉及到的真空泵、真空测量、真空检漏法,了解真空技术所涉及的相关应用领域和真空技术的新进展,进而能够利用和维护一般科技工作和工业生产中的常见真空系统。

预修课程

大学物理、大学英语

教 材

主要内容

第一章 总论(1)

总体介绍该门课程的主要内容和课程结构;介绍该门课程的基础和该课程所学知识的应用领域及发展前景。介绍真空分类、真空术语和真空技术符号等基础知识。

第二章 真空物理基础 (6)

掌握气体分子运动规律和气体吸附和流动相关知识。

主要内容: 

1、理想气体规律;

2、气体分子运动论基础

3、蒸汽、蒸发与凝聚

4、气体吸附

5、气体流动

第三章 真空泵(8)  

   掌握常用真空泵的基本原理和工作方式,能根据真空要求选择相应的真空泵。

主要内容: 

1、主动移位泵(Positive displacement pumps机械真空泵、水环泵、罗茨泵、分子泵)。

2、蒸汽流泵(Kinetic pumps) 

3、气体捕集泵(Entrapment pumps) 

4、泵的选择

第四章  真空测量(5)

掌握常用真空系统中的真空测量技术

主要内容: 

1、真空测量基本知识和测量分类, 

2、全压强测量 

3、分压强测量 

4、真空规校准

第五章 真空材料、真空元件和真空清洁(5)

掌握常用真空材料性质、真空元件和真空清洁方法。

主要内容: 

1、真空材料分类、 

2、真空元件

3、真空清洁

第六章 真空系统设计与真空检漏(5)

主要内容: 

1、真空系统(低真空系统、高真空系统、超高真空系统)

2、真空检漏(实漏与虚漏、检漏方法、检漏仪器)

参考文献

1、真空设计手册 达道安主编 国防工业出版社 第二版。
2、Basic Vacuum Technology  A Chamber, R. K. Fitch Institute of Physics Publishing Bristol 
and Philadelphia.  Second Edition