惯性MEMS器件与系统概述  080903M06001H

学期:2020—2021学年(春)第二学期 | 课程属性:专业研讨课 | 任课教师:宁瑾
授课时间: 星期四,第5、6、7 节
授课地点: 教一楼311
授课周次: 2、3、4、5、6、7、8
课程编号: 080903M06001H 课时: 20 学分: 1.00
课程属性: 专业研讨课 主讲教师:宁瑾 助教:赵永梅
英文名称: Inertial MEMS devices and system overview 召集人:

教学目的、要求

 掌握惯性MEMS领域的相关知识体系, 了解最新研究动态和典型应用领域。                                               

预修课程

微机电系统基础  半导体微纳加工技术

教 材

主要内容

惯性MEMS器件的基本工作原理、设计、微纳加工制造方法及器件封装测试技术

参考文献

1. 《微型惯性器件及系统技术》,丁衡高,朱荣,张嵘等著,国防工业出版社。