存储器工艺与器件技术  085402M05006H

学期:2020—2021学年(春)第二学期 | 课程属性:专业普及课 | 任课教师:夏志良,靳磊
授课时间: 星期日,第1、2、3 节
授课地点: 教一楼113
授课周次: 5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17
课程编号: 085402M05006H 课时: 30 学分: 2.00
课程属性: 专业普及课 主讲教师:夏志良,靳磊 助教:洪培真
英文名称: Memory Technology and Device Technology 召集人:

教学目的、要求

存储器是半导体产业的基石之一。随着全球物联网、大数据中心、智能家居、穿戴设备等应用带动的数据存储市场的快速增长,NAND存储器日益成为当前存储器市场的主流。本课程为微电子学及半导体相关技术学科的专业普及课。将重点介绍半导体存储器分类、闪存技术、3D NAND阵列、3D NAND制造工艺、3D NAND操作、3D NAND电学与可靠性特性以及3D NAND 电路设计。当前中国大力推进3D NAND存储器产业的发展,本课程力求培养出掌握这一方面的优秀学生,为中国存储器事业添砖加瓦,推动科学创新产业化。

预修课程

半导体器件、半导体物理、集成电路设计

教 材

1. Nonvolatile Memory Technologies with Emphasis on Flash, Brewer, 2008
2. Inside NAND Flash Memories, Micheloni, 2010
3. 3D Flash Memories, Micheloni, 2016

主要内容

内容提要:
第1章 半导体存储器简介 
第2章 DRAM存储技术
第3章 3D NAND及新型存储器技术
第4章NAND Flash存储器工艺集成技术
第5章 NAND Flash存储器模型模拟技术
第6章 NAND Flash存储器基本电学特性
第7章 NAND Flash存储器阵列操作
第8章 NAND Flash存储器测试表征技术
第9章 NAND Flash存储器可靠性技术
第10章 NAND Flash存储器芯片设计技术

参考文献

主要参考书:
  1. Nonvolatile Memory Technologies with Emphasis on Flash, Brewer, 2008
2. Inside NAND Flash Memories, Micheloni, 2010
3. 3D Flash Memories, Micheloni, 2016